纳米压痕测量技术及其应用

纳米技术是在20世纪80年代后期发展起来的，被誉为21世纪的科学。研究、发展和加工结构尺寸小于100mm的材料、装置和系统，以获得所需要的功能和性能，是这门新科学的目的。纳米技术是关于分子和原子尺度上的产品的加工生产过程。纳米技术综合了物理、化学、生物和工程等诸多科学领域，是各门技术的集合。

纳米技术所涉及的领域包括机械零件的纳米级精度上的加工和装配，纳米电子器件的制造技术，扫描力显微镜，微型机电系统及纳米结构材料、生物材料等。

纳米技术的三大产品为纳米材料、纳米器件和纳米机构。